Решил тоже поэкспериментировать c NVIDIA Soft Shadow шейдером.
Но при попытке заграбить пасс сразу же получил "No subshaders can run on this graphics card" (
(NVIDIA GeForce 8800 GTS) Unity indie 3.0.
Пробовал с нулевого шейдера и тестировал готовые рабочие шейдеры использующие GrabPass - получил тот же ответ.
P.S. Небольшое дополнение. Насколько я понимаю глубину надо считать от источника света, а не от камеры вьюпорта.