помимо машинного, есть "официальные" эпсилон (Single.Epsilon, Double.Epsilon) относительно 0 при выбранной точности. при этом рекомендуется:
Чтобы при создании пользовательского алгоритма, определяющего, равны ли два числа с плавающей запятой, задать допустимую предельную разность двух чисел, которые следует считать равными, нужно использовать значение, превышающее значение константы Epsilon.(Обычно предельная разность в несколько раз превышает значение Epsilon.)
весьма расплывчатая формулировка. точно так же и ваши эмпирические 1e-6f от людей которые знают что делают. люди, которые знают что делают, знают с чем и когда это делают. см. выше пример с вычитанием больших чисел (123456789f = 123456789.1f) . эпсилон зависит от абсолютного значения числа, поэтому говорить о "правильном" эпсилон 1e-6f неправильно. оно подходит только для общеупотребительного диапазона 0-1000.